氯化氫氣體作為氯化物生產中的重要原材料，在三氯化氫硅的生產中也不例外。那么，以氯化氫作為重要合成劑的三氯氫硅都有哪些特殊性質呢？

    三氯氫硅別名為硅氯仿、硅仿、三氯硅烷；英文名：Trichlorosilane、Silicochloroform．三氯氫硅沸點為31.8℃，熔點為-126.5℃，自燃溫度為185℃，在空氣密度為1時，蒸汽相對密度為4.7，在空氣中爆炸極限為1.2~90.5%(體積分數(shù))。主要用途為單晶硅原料、外延成長、硅液、硅油、化學氣相淀積、硅酮化合物制造、電子氣。

    主要制備方法：(1)在高溫下Si和氯化氫反應。(2)用氫還原四氯化硅(采用含鋁化合物的催化劑)。 

    三氯氫硅在常溫常壓下為具有刺激性惡臭易流動易揮發(fā)的無色透明液體。在空氣中極易燃燒，在-18℃以下也有著火的危險，遇明火則強烈燃燒，燃燒時發(fā)出紅色火焰和白色煙，生成SiO2、氯化氫氣體和Cl2。

    在化學性質這方面，氯化氫氣體和三氯氫硅有很多的共同點，都是危險性極強的，所以在運輸儲備過程中需要特別注意安全防護。