在如三氯氫硅的眾多工業(yè)生產(chǎn)中所副產(chǎn)出的氯化氫氣體，想要得到很好的二次利用，就需要認真分析各種工藝方法的利弊，結(jié)合利用。
    利用活性炭對氯硅烷的吸附作用。當尾氣中氯化氫氣體、氫氣及少量未液化的氯硅烷經(jīng)過活性炭后，其中的氯硅烷就被活性炭吸附，當活性炭吸附飽和后，由蒸汽加熱，脫出吸附的氯硅烷，與合成產(chǎn)品一同送離系統(tǒng)進行分離。未被吸附的氯化氫氣體經(jīng)水吸收后，變?yōu)楦碑a(chǎn)品鹽酸外售。剩余的氫氣送氯化氫氣體合成系統(tǒng)按一定比例與氯氣燃燒生成氯化氫氣體循環(huán)使用。 
    吸附塔吸附方法是在回收少量的氯硅烷的基礎(chǔ)上，尾氣中的氯化氫被水吸收后成為鹽酸。不但解決了酸性水排放的問題，同時增加了副產(chǎn)品鹽酸，增加了經(jīng)濟效益。但是該方法對活性炭的要求較高，蒸汽用量較大，經(jīng)濟性差。
    回收利用方法多樣，也各有利弊，想要得到預(yù)期效果，就要揚長避短，將多種工藝結(jié)合使用。
    淄博萬達利特種氣體公司生產(chǎn)的氯化氫是在淄博齊魯石化工業(yè)園區(qū)注冊的高新科技企業(yè)，淄博萬達利直屬于北京華宇同方，主要從事新材料技術(shù)和化工新技術(shù)的研發(fā)，以及高新技術(shù)產(chǎn)品的生產(chǎn)和銷售。研發(fā)的沸石催化劑及其應(yīng)用技術(shù)處于世界先進水平。生產(chǎn)的“華宇同方”牌高純氯化氫產(chǎn)品與國際知名品牌的性能相當，為半導(dǎo)體器件制造業(yè)、光伏產(chǎn)業(yè)和醫(yī)藥工業(yè)提供了充足的優(yōu)質(zhì)原材料。