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中國(guó)氯化氫技術(shù)的領(lǐng)導(dǎo)者
北京華宇同方化工科技開(kāi)發(fā)有限公司是1999年注冊(cè)于北京中關(guān)村高科技園區(qū)的高新科技企業(yè),其目的是推廣應(yīng)用本公司發(fā)明的十余項(xiàng)國(guó)內(nèi)外授權(quán)專利。目前推廣的主要新產(chǎn)品有,高
純氯化氫和沸石催化劑;主要新技術(shù)有催化精餾技術(shù)和芳烴烷基化工藝。本公司生產(chǎn)的沸石催化劑是種錄色環(huán)保產(chǎn)品,達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平,已成功的應(yīng)用于國(guó)內(nèi)大型石化企業(yè),具有顯著的
經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。本公司生產(chǎn)的高純氯化氫的性能指標(biāo)與國(guó)外同類產(chǎn)品相當(dāng),填補(bǔ)了我國(guó)電子級(jí)氯化氫產(chǎn)品生產(chǎn)的空白,目前已廣泛應(yīng)用于集成電路芯片制造業(yè)、硬質(zhì)合金制造業(yè)、醫(yī)
藥化工制造業(yè),并批量遠(yuǎn)銷(xiāo)于韓國(guó)及東南亞一帶。本公司的特點(diǎn)是產(chǎn)品質(zhì)量高,價(jià)格低,售后服務(wù)好。
本公司具有較強(qiáng)的技術(shù)開(kāi)發(fā)力量,現(xiàn)有教授4人,高級(jí)工程師5人,其他工程技術(shù)人員10人。建有設(shè)備完善的中心實(shí)驗(yàn)室,高純氯化氫生產(chǎn)基地,沸石催化劑生產(chǎn)基地。分別負(fù)責(zé)技術(shù)
開(kāi)發(fā)、氯化氫和催化劑的生產(chǎn)。根據(jù)市場(chǎng)需求,氯化氫設(shè)備的現(xiàn)有生產(chǎn)能力為100噸/年。
5N電子級(jí)氯化氫產(chǎn)品的純度高達(dá)99.999%,總雜質(zhì)含量小于5ppm,符合企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)Q/HDHYF001-2003。它是單晶硅片氣相拋光、基座腐蝕和硬質(zhì)合金鍍膜工藝的重要輔助材料。尤其其中水
及有機(jī)物的含量對(duì)單晶硅片的精密加工和芯片的壽命具有極大影響。本公司生產(chǎn)的5N電子級(jí)氯化氫產(chǎn)品的露點(diǎn)小于-80℃,水含量小于0.5ppm。有機(jī)物為輕烴類,THC<0.5ppm,且不含一氧
化碳、二氧化碳等有害雜質(zhì)。就此而言,本公司的產(chǎn)品遠(yuǎn)優(yōu)于國(guó)外同類產(chǎn)品的性能,尤其優(yōu)于國(guó)內(nèi)分裝產(chǎn)品。
本公司生產(chǎn)電子級(jí)氯化氫所采用的原料為石化產(chǎn)品的副產(chǎn)品,其特點(diǎn)是水含量很低,便于提純加工,對(duì)所需設(shè)備的材質(zhì)要求不高。但其中含有難以脫除的乙炔氣,這就需要特種性能
的催化劑。本公司在催化劑及催化技術(shù)開(kāi)發(fā)方面具有獨(dú)特的技術(shù)。經(jīng)5年的努力,開(kāi)發(fā)出適用的催化劑,它可使氯化氫中1000ppm的乙炔經(jīng)反應(yīng)下降至0.1ppm以下。從而保證了氯化氫中的THC
<0.4ppm。另外,本公司氯化氫的生產(chǎn)工藝采用了高效填料及特殊結(jié)構(gòu)的精餾塔,并采用了具有特色的鋼瓶處理方法,保證了瓶裝產(chǎn)品的水含量小于0.5ppm。使得本公司產(chǎn)品的質(zhì)量大大優(yōu)
于國(guó)外同類產(chǎn)品的質(zhì)量。同時(shí),本公司獲得了"一種制備電子級(jí)氯化氫的方法"的授權(quán)專利,具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。瓶裝產(chǎn)品經(jīng)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研究中心和信息產(chǎn)業(yè)部專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢測(cè)中心
抽樣檢驗(yàn),純度大于99.999%,雜質(zhì)總含量小于5ppm。2003年10月通過(guò)北京市科委科技成果技術(shù)鑒定。會(huì)議認(rèn)為,本工藝采用特效催化反應(yīng)、高效精餾和特種裝置設(shè)備等技術(shù)研制出電子級(jí)氯
化氫產(chǎn)品。技術(shù)路線科學(xué)、合理、先進(jìn),工藝參數(shù)穩(wěn)定;原料來(lái)源充足,供應(yīng)可靠,生產(chǎn)線裝置運(yùn)行連續(xù)穩(wěn)定,符合環(huán)保要求;產(chǎn)品主要技術(shù)指標(biāo)具有可靠的檢測(cè)手段;產(chǎn)品主要性能指標(biāo)
與國(guó)外同類產(chǎn)品相當(dāng),填補(bǔ)了我國(guó)電子級(jí)氯化氫產(chǎn)品生產(chǎn)的空白,實(shí)現(xiàn)了電子級(jí)氯化氫產(chǎn)品的國(guó)產(chǎn)化。這對(duì)我國(guó)新興電子產(chǎn)業(yè)制造業(yè)及其相關(guān)行業(yè)的發(fā)展具有較大的社會(huì)意義和經(jīng)濟(jì)意義。
兩年多來(lái),經(jīng)國(guó)內(nèi)外多家用戶在單晶硅片氣相拋光、基座腐蝕和硬質(zhì)合金鍍膜工藝中使用證明,本公司產(chǎn)品的技術(shù)性能及其產(chǎn)品的規(guī)格性能均與國(guó)外產(chǎn)品相當(dāng)。
近幾年,本公司在降低水含量方面采取了一系列措施。經(jīng)分析發(fā)現(xiàn),精餾塔采出產(chǎn)品的水含量小于0.3ppm,但罐裝于鋼瓶?jī)?nèi)的產(chǎn)品水含量則可達(dá)0.7ppm,甚至更高。究其原因在于產(chǎn)
品罐裝過(guò)程中鋼瓶更換以及鋼瓶處理時(shí)引入的空氣水。這種水附著在管壁上,難以用抽空的方法徹底排除。為此,首先采用了本公司發(fā)明的專利截止閥,保證更換鋼瓶時(shí)匯流排及其連接軟
管不與大氣相通;其次在鋼瓶選用、瓶閥結(jié)構(gòu)及鋼瓶處理上采取了嚴(yán)格而特殊的措施,盡可能降低鋼瓶殘留水的影響,保證了瓶裝產(chǎn)品的水含量小于0.5ppm。
目前,國(guó)內(nèi)應(yīng)用的5N電子級(jí)氯化氫產(chǎn)品主要由美國(guó)道化學(xué)公司提供,經(jīng)由國(guó)內(nèi)外幾家氣體經(jīng)銷(xiāo)商分裝后供應(yīng)市場(chǎng),主要性能指標(biāo)如下:
純度:99.999%;
雜質(zhì)含量:N2≤2.0ppm,O2≤1.0ppm,H2O≤1.0ppm,CO≤1.0ppm,
CO2≤2.0ppm,THC≤1.0ppm。
目前,本公司批量供應(yīng)市場(chǎng)的氯化氫產(chǎn)品有如下四種:
(1) 5.0 N,純度>99.999%; (2) 4.8 N,純度>99.998%;
(3) 3.0 N,純度>99.9%; (4) 2.8N,純度>99.8%。
本公司氯化氫產(chǎn)品采用氯化氫專用鋼瓶(符合國(guó)標(biāo)GB5099或DOT 3AA標(biāo)準(zhǔn))包裝,有25kg、27kg兩種規(guī)格,應(yīng)用316L不銹鋼抗腐蝕隔膜式瓶閥,CGA330標(biāo)準(zhǔn)接口。
本公司尚可為客戶提供各種型號(hào)規(guī)格的氯化氫專用減壓器、調(diào)節(jié)閥、截止閥以及成套氯化氫供氣裝置。
2001年全公司各產(chǎn)品通過(guò)ISO9001:2000質(zhì)量管理體系認(rèn)證,保證了產(chǎn)品質(zhì)量的連續(xù)穩(wěn)定和持續(xù)改進(jìn)。
本公司秉承"誠(chéng)信為本、顧客至上"的經(jīng)營(yíng)理念,堅(jiān)持"科學(xué)經(jīng)營(yíng)、安全經(jīng)營(yíng)、合法經(jīng)營(yíng)"的經(jīng)營(yíng)方針,以科技領(lǐng)先和強(qiáng)化管理為手段,鍛造技術(shù)一流、人才一流、質(zhì)量一流、服務(wù)一流
的科技開(kāi)發(fā)公司。